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Vetro zaffiro antigraffio per oblò di apparecchiature per semiconduttori Mohs 9
Specifiche del prodotto
Luogo di origine:
Guangdong, Cina
Marchio:
ECER Optics
Certificazione:
ISO 9001:2015
Numero di modello:
SW-SEM-DURO
Quantità minima di ordine:
10 pezzi
Prezzo:
USD 8-50 / Piece
Termini di pagamento:
T/T,PayPal,Western Union
Capacità di fornitura:
30000 pezzi al mese
Dettagli del prodotto
Evidenziare:
Finestra in zaffiro resistente ai graffi
,Oblò per apparecchiature per semiconduttori
,Ottiche con durezza Mohs 9
Product Name:
Finestra in zaffiro resistente ai graffi
Application:
Processo di fabbricazione di wafer a semiconduttore
Hardness:
Mohs 9
Material:
Singolo cristallo di zaffiro Al2O3
Diameter:
Personalizzato 10 mm - 200 mm
Chemical Resistance:
Resistente agli acidi, alle basi e al plasma
Surface Quality:
60-40 Scratch-Dig
Flatness:
Lambda/4
Descrizione del prodotto
Vitrina di zaffiro resistente agli graffi Mohs 9 Viewport di attrezzature semiconduttrici
Questa finestra di zaffiro resistente agli graffi è costruita per i punti di vista delle apparecchiature semiconduttrici, dove le camere di processo espongono le finestre al plasma, all'abrasione delle particelle e ai prodotti chimici aggressivi per la pulizia.La finestra è realizzata in zaffiro a cristallo singolo con una durezza di Mohs di 9, secondo solo al diamante, che gli consente di mantenere una superficie ottica pulita molto più a lungo dei punti di vista in vetro o quarzo.
Per gli strumenti di lavorazione dei wafer che funzionano continuamente, la finestra di zaffiro resistente agli graffi riduce i tempi di manutenzione e mantiene l'immagine di ispezione coerente durante la vita della camera.Gli ambienti dei semiconduttori richiedono più della durezza, motivo per cui questa finestra di zaffiro è anche specificata per la resistenza chimica agli acidi, alle basi e alle sostanze chimiche plasmatiche, oltre alla stabilità termica attraverso le oscillazioni di temperatura del ciclo di processo.
Ogni finestra è lucidata fino a raggiungere una superficie di qualità 60-40 con una piattazza di lambda superiore a 4, e i profili di bordo sono macinati e bisellati per evitare concentrazioni di stress nella flange di montaggio.Disponibili diametri personalizzati da 10 mm a 200 mm e spessori adeguati al vuoto o alla pressione atmosferica, e ogni spedizione include certificati di materiale e documenti di ispezione dimensionale per la qualificazione delle attrezzature.
Specifiche tecniche
| Nome del prodotto | Finestra di zaffiro resistente agli graffi |
|---|---|
| Materiale | Sapphire monocristallino Al2O3 |
| Durezza | Mohs 9 |
| Diametro | 10 mm - 200 mm su misura |
| Spessore | 1.0 mm - 8.0 mm Personalizzabile |
| Qualità della superficie | 60-40 Scratch-Dig |
| Piatto | Lambda/4 @ 632,8 nm |
| Resistenza chimica | Resistente agli acidi, alle basi e al plasma |
| Applicazione | Processamento di wafer a semiconduttore |
| Certificato | Conformità RoHS, ISO 9001:2015 |
Principali vantaggi
- Durezza Mohs 9 resistente a graffi causati da particelle e plasma
- L'inertitudine chimica sopravvive alle chimiche aggressive di pulizia della camera
- Maniglie di stabilità termica ciclo di temperatura del processo senza frattura
- I bordi di terra a guinzaglio riducono la concentrazione di sollecitazione nella fianchetta di montaggio
- Lunga durata di servizio riduce la frequenza di sostituzione del viewport e il tempo di inattività
- Certificati di materiale a supporto della qualifica delle apparecchiature per semiconduttori
- Dimensioni personalizzate corrispondono al vuoto e ai punti di visualizzazione del processo atmosferico
- Clarezza ottica costante per l'ispezione dei wafer attraverso la finestra
La finestra di zaffiro resistente agli graffi è progettata in base alle condizioni operative reali della fabbricazione di semiconduttori: apertura ripetuta della camera, pulizia del plasma e flussi di particelle abrasive.I dati sul campo provenienti da programmi di assistenza all'attrezzatura mostrano che i punti di vista in zaffiro in genere superano il quarzo di diverse volte negli strumenti di incisione e deposizione, che riduce direttamente il costo di proprietà per gli operatori di fabbrica.
La finestra è adatta anche per le industrie adiacenti che condividono lo stesso profilo ambientale duro, tra cui l'elaborazione di display a schermo piatto, la produzione di celle solari e i sistemi di rivestimento a vuoto.Gli ingegneri progettisti ricevono una guida di montaggio, comprese le tolleranze raccomandate per le flange e i materiali di tenuta, in modo che la finestra di zaffiro resistente agli graffi si integri nei progetti esistenti senza rilavorazioni.
Domande e risposte sul prodotto
D: Perché i punti di vista dei semiconduttori hanno bisogno di zaffiro invece di quarzo?
Le camere di processo generano plasma, particelle e sostanze chimiche reattive che rapidamente graffiano e graffiano i punti di vista del quarzo, offuscando il percorso ottico.Lo zaffiro con durezza Mohs 9 resiste a questo danno per cicli molto più lunghiIl risultato è un minor numero di modifiche del campo visivo e condizioni di ispezione più stabili.
D: A quali livelli di pressione può rispondere la finestra?
Il valore di pressione dipende dal diametro, dallo spessore e dal design del montaggio.Forniamo calcoli di spessore raccomandati per le condizioni specifiche della camera.
D: La finestra può essere rivestita per evitare riflessi nella gamma visibile?
Mentre molti punti di vista dei semiconduttori usano zaffiro non rivestito per la massima robustezza, possiamo applicare un rivestimento AR resistente per lunghezze d'onda di ispezione visibili quando è necessaria una maggiore trasmissione.Il rivestimento è convalidato per l'esposizione al plasma e alle sostanze chimiche prima del rilascio.
D: Quali documenti sono forniti per la qualificazione delle attrezzature?
Ogni spedizione include certificati di materiale zaffiro, rapporti di ispezione dimensionale, registri di qualità della superficie e dichiarazioni RoHS.Per i programmi qualificati possiamo anche fornire dati di test di resistenza chimica a livello di lotto e risultati del ciclo termico.
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